檢索結果:共4筆資料 檢索策略: "Wei-Chun Cheng".eadvisor (精準) and ckeyword.raw="歐姆接觸"
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本實驗以適用於發光二極體的三元砷化鋁鎵(100)晶片系統,以熱蒸鍍法沉積金鈹合金於砷化鋁鎵晶片上,並使用快速升降溫爐及傳統管狀爐作熱處理,本論文以研究此晶片系統之金屬層的組成相為方向。 X光…
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本論文是以藍光二極體氮化鎵(GaN)晶片為基材,以熱蒸鍍法依序蒸鍍Au、AuBe及Au於氮化鎵晶片後,再利用快速升溫爐與傳統管狀爐兩種不同之加熱方式,進行試片之合金化熱處理。 當試片經過快速升溫熱處…
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本實驗以適用於紅外線二極體的砷化鎵(GaAs)晶片為基材,以熱蒸鍍法依序蒸鍍Au、AuBe及Au的薄膜於砷化鎵晶片後,再利用快速升降溫爐(RTA)或傳統管狀爐兩種不同之加熱方式,進行試片之歐姆接觸合…
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本實驗採熱蒸鍍法依序蒸鍍金(Au)、金鈹合金(AuBe)及金的薄膜於玻璃(SiO2)及砷化鎵(GaAs)基材上,再利用傳統管狀爐進行熱處理,以研究金屬層的結晶結構。 Au(Be)/SiO2之試片於X…